TOWA半导体设备（苏州）有限公司于2002年06月28日在苏州工业园区市场监督管理局登记成立。法定代表人SHIBAHARA NOBUTAKA（柴原信隆），公司经营范围包括半导体制造设备、半导体制造用精密模具、有关半导体制造设备的部件等。