拓荆

拓荆科技座落于沈阳国家级高新技术产业区——浑南新区，是国内唯一能够生产适用于大规模集成电路生产线的PECVD设备供应商，现已形成2-12英寸PECVD设备、12英寸ALD设备、OLED薄膜设备、3D NAND薄膜设备产品系列，广泛应用于集成电路、先进封装TSV、光波导、LED、OLED显示等高端技术领域。隶属于沈阳拓荆科技有限公司。